Microscopia eletrônica de varredura de alta resolução (MEV-FEG-FIB)
Microscópio eletrônico de varredura Tescan Amber-X
- MEV - FEG de alta resolução com sistemas de detecção de elétrons secundários, retroespalhados e transmissão (STEM)
- Resolução de 1,2 nm a 30kV e 2,0 nm a 1.0kV
- FIB de Xenônio permitindo remoção de volumes de até 1 mm3 com possibilidade de tomografia multimodal (imagens, MS e EDS)
- TOF-SIMS de alta resolução e faixa de massas até 500 u.m.a.
- Catodoluminescência hiperespectral e mapa de intensidade faixa espectral de 200-1000nm
- Sistema de EDS com detector de 100 mm2 com software de imageamento de grandes áreas