Microscopia eletrônica de varredura de alta resolução (MEV-FEG)
Microscópio eletrônico de varredura JEOL JSM 7100-F
- Feixe eletrônico por emissão de campo (FEG)
- Resolução de 1,2 nm a 30kV e 2,0 nm a 1.0kV
- Diferentes configurações de detectores de elétrons secundários e retroespalhados
- Detectores Oxford EDS e WDS
- Detector STEM